「浄化」という言葉は中国語で長い歴史があり、本来は「清らかにする」という意味で、不純物を除去し公害を除去するためのあらゆる工程や技術を広く指します。対応する英語の用語には、「purification」（純度を強調する）や「clean」（清潔さを強調する）などがあります。したがって、クリーンルーム工学の英語表現には、「Purification Engineering」、「Clean Engineering」、または「Cleanroom Technology」などが含まれます。この広い意味により、クリーンルーム工学はさまざまな分野で異なる意味合いを持ちます。
クリーンルーム技術を中核とする現代のクリーンルーム工学は、1950 年代に始まりました。朝鮮戦争中、米軍は粉塵の侵入により多くの電子機器が頻繁に故障していることを発見し、空気浄化技術、特に高効率微粒子空気 (HEPA) フィルターの研究と応用の開発に拍車をかけました。- 1961 年、サンディア国立研究所のウィリス ホイットフィールドは、クリーンルームが前例のないレベルの清浄度を達成できるようにする「層流」(現在は正式には「一方向流」と呼ばれています) クリーン エアフロー組織スキームを提案しました。同年、米国空軍は世界初のクリーンルーム規格を発表し、1963 年には米国連邦規格 FED{11}}STD-209 が発表され、クリーンルーム技術システムの初期形成が始まりました。その後、集積回路や生物医学などの産業の急速な発展に伴い、クリーンルーム工学技術も革新と進化を続けてきました。
中国では、1984 年に「クリーンルーム設計規範」（GBJ 73-84）が公布され、1990 年に「クリーンルーム建設および受け入れ規範」（JGJ 71-90）が公布されました。数回の改訂を経て、GB 50073-2013「クリーンルーム設計規範」を中核とする国家標準体系が形成されました。国際的には、ISO/TC209 技術委員会によって編集された ISO 14644 シリーズの規格が、クリーンルームおよび関連する管理された環境に関する共通のガイドラインです。私の国はこれらの規格を採用し、GB/T 25915 シリーズとして実装しました。